百級無塵車間的裝修標準以及設計參數
2018-03-03 02:00:54 作者:admin 出處:科瓦特
無塵車間級別不同,空氣潔凈度也會不同的,而且對于無塵車間的整體設計規劃區別,接下來小編就帶大家了解下百級無塵車間的裝修標準以及設計參數!
百級無塵車間設計裝修的標準的A級就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下。
當前,在芯片生產加工上的無塵標準的要求就是要高于A級的,像這樣的高的要求標準主要是被應用在在一些等級較高芯片生產上,而業內稱之為的1K級別的就是微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內。
百級無塵車間設計參數
溫度:22℃±2;濕度:55%±5;基本需要滿布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系統。
還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
百級無塵車間若非得用換氣次數來衡量的話200次/h以上,
百級無塵車間若是以層流風速來說的話>0.35m/s,
百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。
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